
氬氣(Ar)是半導(dǎo)體制造的核心工藝氣體,廣泛用于等離子蝕刻(Dry Etching)、物理氣相沉積(PVD)等關(guān)鍵環(huán)節(jié):在等離子蝕刻中,氬氣經(jīng)射頻激發(fā)形成高能等離子體,通過物理轟擊實(shí)現(xiàn)晶圓圖形化;在PVD工藝中,氬氣作為濺射氣體輔助金屬薄膜(如鋁、銅互聯(lián)層)沉積。由于氬氣為惰性氣體,泄漏后會取代空氣中的氧氣,導(dǎo)致局部缺氧(當(dāng)濃度>75%時(shí)可引發(fā)窒息風(fēng)險(xiǎn)),同時(shí)高濃度氬氣與設(shè)備摩擦可能產(chǎn)生靜電,威脅潔凈室安全。因此,半導(dǎo)體工廠需對氬氣存儲區(qū)、管路接口、工藝設(shè)備腔體等關(guān)鍵點(diǎn)位進(jìn)行24小時(shí)實(shí)時(shí)監(jiān)測,確保泄漏隱患早發(fā)現(xiàn)、早處置。
固定安裝與多點(diǎn)覆蓋:支持壁掛、管道式或法蘭安裝,可部署于氣體房、PVD/蝕刻機(jī)臺附近、潔凈室吊頂?shù)汝P(guān)鍵區(qū)域,配合多通道模塊(1-16路可選)實(shí)現(xiàn)對多個(gè)監(jiān)測點(diǎn)的集中管控。
數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)上傳:通過4G/NB-IoT/以太網(wǎng)接口對接工廠DCS、PLC系統(tǒng)或云平臺,實(shí)時(shí)顯示氬氣濃度(單位:%Vol)、設(shè)備狀態(tài)(運(yùn)行/故障)及報(bào)警信息,數(shù)據(jù)更新頻率≤1秒,滿足半導(dǎo)體工廠“工藝透明化"管理需求。
傳感器與算法優(yōu)化:采用進(jìn)口熱導(dǎo)式傳感器(適用于高濃度氬氣檢測),結(jié)合溫濕度補(bǔ)償算法與零點(diǎn)漂移抑制技術(shù),檢測范圍覆蓋0-100%Vol,分辨率達(dá)0.1%Vol,可精準(zhǔn)識別微量泄漏(如管道接口0.5%Vol緩慢泄漏)。
抗干擾設(shè)計(jì):內(nèi)置電磁屏蔽模塊,可抵御光刻機(jī)、離子注入機(jī)等強(qiáng)電磁設(shè)備干擾;外殼采用316L不銹鋼材質(zhì),防護(hù)等級IP66,適應(yīng)半導(dǎo)體潔凈室(Class 10/100級)的嚴(yán)苛環(huán)境(溫度-20℃~60℃,濕度10%-95%RH無冷凝)。
深國安在線式氬氣檢測儀通過對關(guān)鍵區(qū)域的實(shí)時(shí)監(jiān)測、智能預(yù)警與聯(lián)動控制,可有效降低氬氣泄漏導(dǎo)致的缺氧風(fēng)險(xiǎn)及設(shè)備故障,保障潔凈室人員安全與生產(chǎn)連續(xù)性。其數(shù)據(jù)聯(lián)網(wǎng)功能還能為工廠提供氬氣消耗分析、泄漏趨勢預(yù)判等決策支持,助力半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)現(xiàn)“安全管控-工藝優(yōu)化-合規(guī)管理"的一體化目標(biāo)
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